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加热带系列
  1. 装置机台Applied DPS METAL ETCH & DPS POLY ETCH
  2. 监看Chiller温度预防人为疏失。
  3. Chiller如果失去Cooling效果,计算机只会显示Warning机台仍可继续动作，此时控制器会送open讯号到机台的Buffer Interlock Cover Open 点或与机台Fore line Heating Jacket Interlock串接使机台强制停机。
  4. 可预防C D线被蚀刻太深或太浅,造成重工或无法挽救
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