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加熱帶系列
  1. 裝置機台Applied DPS METAL ETCH & DPS POLY ETCH
  2. 監看Chiller溫度預防人為疏失。
  3. Chiller如果失去Cooling效果,電腦只會顯示Warning 機台仍可繼續動作，此時控制器會送open訊號到機台 的Buffer Interlock Cover Open 點或與機台Fore line Heating Jacket Interlock串接使機台強制停機。
  4. 可預防C D線被蝕刻太深或太淺,造成重工或無法挽救。
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